中国电子科技集团公司第四十五研究所（简称 45 所）组建于 1958 年，隶属于中国电子科技集团有限公司，坐落于北京经济技术开发区。是以光学微细加工、微纳米制造与系统自动化为专业方向的国家军用电子制造装备研制生产的骨干研究所。2013年中国电子科技集团公司 2 所、45 所、48 所整合成立中电科电子装备集团有限公司。45 所现有职工 1300 余人，专业技术人员 500 余人。“十四五”以来，45 所共承担各类科研项目 48 项，完成国家 02 专项 CMP 项目、共性职称等35 个项目验收，取得科技成果 36 项，其中国际先进水平 5 项，国内领先

水平 28 项，申请发明专利 209 项，授权发明专利 117 项。

未来 3-5 年，电科装备将围绕光刻机、离子注入机、CMP、先进封装等集成电路核心装备业务，建设电科装备北京集成电路装备创新中心和产业基地，推动集成电路核心装备实现自主可控。